仪器信息
规格型号 :
JBX-9500FS
设备原值 :
3000（万元）
产地国别 :
日本
学科领域 :
技术指标 :
详见下图
主要功能 :
最大能容纳Φ300mm的晶圆片和6英寸的掩模版，具有100MHz的扫描速度。1000μm×1000μm写场的套刻精度达到±11nm，场拼接精度为±10nm，写场内位置精度达±9nm。采用20位的光束定位DAC以及14位的扫描DAC，可以得到0.25nm的扫描步距。
服务信息
服务内容 :
适合光子器件、通信设备、纳米压印等多个领域的研发及生产。
收费标准 :
用户须知 :
无
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李康
15510900314
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