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感应耦合等离子体刻蚀机
仪器分类：
浏览量： 发布时间：
所在地：天津
服务承诺：客户至上 如实描述
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    • 仪器信息
    规格型号 :
    RIE-200iP
    设备原值 :
    420（万元）
    产地国别 :
    日本
    学科领域 :
    技术指标 :
    详见下图
    主要功能 :
    用于各种金属和硅化膜的各项异性刻蚀，以及InP、GaAs、GaN以及其他化合物半导体材料的刻蚀。
    服务信息
    服务内容 :
    用于功率半导体、通信设备、波导等的制造。
    收费标准 :
    用户须知 :
    无
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      白国人 

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