仪器信息
规格型号 :
MJB4
设备原值 :
500（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
技术指标 :
详见下图
主要功能 :
适用于10x10 mm及20x20 mm小片、1英寸方片及4英寸圆片 ，广泛应用于MEMS和光电子领域。
服务信息
服务内容 :
使用来自汞（Hg）灯的短（几秒）的UV辐射脉冲通过玻璃/镉掩膜照射用光敏抗蚀剂（PR）涂覆的晶片进行曝光。
收费标准 :
用户须知 :
无
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李康
15510900314
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