仪器信息
规格型号 :
Helios G4 UC
设备原值 :
792.0（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
离子束分辨力<3nm，电子束分辨力<2nm；配备五支以上独立气体注入，预换样室，能谱仪，红外CCD；五自由度样品台，移动范围150mm*150mm*10mm，定位精度0.5um，最大样品尺
主要功能 :
微纳米加工、形貌观察
服务信息
服务内容 :
样品测试
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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吴森
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