技术指标 :
1.仪器整体噪声水平
XY方向闭环噪音水平:0.15nm。Z方向噪音水平:0.035nm。
2.控制器
2.1包含三个全数字锁相放大器,提供定量相位成像功能:-180°到+180°全线性相位成像。可实现纵向和横向压电响应模式。
2.2控制器反馈响应时间2微秒,数据采样率达到50MHZ,控制器共有11个DAC 和11个ADC适用与定制试验或二次开发的功能。
3.扫描器
3.1三方向闭环扫描器,在软件中可以设置开环和闭环扫描。
3.2 XY方向最大扫描范围不小于100umx100um。
3.3 Z方向最大扫描范围不小于15um。Z扫描器可使用15微米全范围实现〉70Hz 行速率高速Z轴闭环扫描需要。Z轴包含专用高速定量纳米力学用扫描器。
3.4 扫描器的设计必须为XY方向与Z方向分离式设计,XY方向采用样品扫描方式,Z方向采用针尖扫描方式以满足高级光学联用需求。
3.5基线倾斜:0.25nm/um。
3.6激光波长: 850nm