技术指标 :
1. 分辨率:点分辨率:≤0.25nm ,线分辨率:≤0.14nm,信息分辨率:≤0.12nm
2. 加速电压:
加速电压:20kV-200kV;加速电压连续可调
3. 电子枪:
超稳定高亮度电子枪: 1.8x 109A/Cm2 srad (@200Kv),具有更长的使用寿命,提供更高的成像效率,可获得更高电子束电流,从而获得更高信噪比和高分辨率STEM图像和EDS图谱,及高分辨率的TEM图像
4. 扫描透射(STEM):
分辨率:≤0.16 nm ,探头: STEM模式可以选择四个不同的探测器(BF, DF1,DF2,HAADF),可同时采集4x幅来自不同角度的电子信号,明场(BF),环形明场(ABF),环形暗场(ADF)和大角度环形暗场(HAADF)的图像;HRTEM和HRSTEM之间切换后稳定时间短,仅需点击鼠标,可在几秒种之内完成。
STEM放大倍数范围150x - 230Mx
5. 真空系统:
真空系统构成:完全无油真空系统由机械泵、涡轮分子泵和离子泵等构成;真空度:样品室真空:< 1 x 10-5 Pa,电子枪真空:< 1 x 10-6 Pa电子枪;换样时间少于30秒;更换