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电子束曝光系统
电子束曝光系统
电子束曝光系统
仪器分类：
享受政策：
享受创新券补贴
浏览量：70 发布时间：2023/4/11
所在地：天津
服务承诺：客户至上 如实描述
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    • 仪器信息
    规格型号 :
    e_LINE plus
    设备原值 :
    18（万元）
    产地国别 :
    学科领域 :
    技术指标 :
    主要功能 :
    主要功能及应用： 1集成电路制造直写领域，电子束曝光面向的主要尺度范围是22nm以下； 2在模板制作领域，电子束曝光的高分辨率与高精度具有极大优势； 3对于新型器件（纳米尺度）尤其是量子器件的原型开发，具有非常大的灵活性； 4在微纳米尺度的基础研究领域，电子束曝光可以直接在衬底表面规则而精确地定义出≤10nm的图形。
    服务信息
    服务内容 :
    收费标准 :
    1500.00
    用户须知 :
    无
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      郝银召 

      235*******36  

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