仪器信息
规格型号 :
DaLI-A激光直写速度：100000点/秒
设备原值 :
88（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
物理学,材料科学
技术指标 :
375 nm紫外激光光源，直写技术，激光直写速度：100000点/秒；电压110/230 V；
主要功能 :
利用紫外激光光源，配合直写技术实现无掩模光刻完成微米级器件单元及阵列化器件的微加工，为高密度集成芯片的制备提供技术保障。
服务信息
服务内容 :
微米级二维半导体器件电极的微加工
收费标准 :
200/小时
用户须知 :
须经过相关负责人详细讲解和教学，以及负责教师的许可后方可进行使用
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陈旭东
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