仪器信息
规格型号 :
Haasrode-1200A
设备原值 :
445.0（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
物理学,材料科学
技术指标 :
SiO2 Etch rate ≥ 300 Å/min WIW ≤ ±5%
WTW ≤ ±5% RTR ≤ ±5% Profile ＞ 70°
Ta Etch rate ≥ 100 Å/min WIW ≤ ±5%
WTW ≤ ±5% RTR ≤ ±5%
主要功能 :
江苏鲁汶仪器有限公司
服务信息
服务内容 :
利用氩离子对样品表面进行物理轰击，达到刻蚀的效果
收费标准 :
罗锋课题组自测收费（使用收费）0元/小时。部门内课题组代测收费（送样收费）500元/小时。材料科学与工程学院内课题组代测收费（送样收费）600元/小时。南开大学校内课题组代测收费（送样收费）700元/小时。南开大学校外课题组/用户代测收费（送样收费）800元/小时。
用户须知 :
用户提出刻蚀需求，由专人负责刻蚀。根据仪器状态进行统筹安排工艺时间，仪器使用需提前预约。
联系我们
罗锋
13436895632
更多推荐
