仪器信息
规格型号 :
OLS4000
设备原值 :
69（万元）
产地国别 :
日本
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
高精度3D形貌测试，100*--17000*变焦
主要功能 :
先通过激光双共聚焦矩阵扫描，再经由光电倍增管收集数据，在控制单元上计算后生成纳米级3D模型，最后在高清屏幕上显示测量。XY轴水平分辨率：120nm，水平重复精度：3σ=0.02μm（100X物镜测量2μm宽度时）；Z轴光栅尺刻度：0.8nm；垂直分辨率：：0.01μm；垂直重复精度：σ=0.014μm（50X和100X物镜测量2μm高度时）
服务信息
服务内容 :
样品测试
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日时间
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史再峰
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