仪器信息
规格型号 :
Crossbeam340
设备原值 :
427.94（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
物理学,化学
技术指标 :
二次电子分辨率优于0.9nm@15kV， 1.7nm@1kV。离子束和电子束双束交叉点（WD=5mm）二次电子分辨率优于2.3nm@1kV。离子束分辨率优于3.0nm@30kV。
主要功能 :
在材料研究过程中，经常遇到目标区域是厚样品内的微纳米尺度区域，只有利用聚焦离子束-电子束双束设备的电子束系统先定位此类微纳区域，然后利用聚焦离子束系统将该类区域切割出来，再利用双束设备中的机械手将该类区域提取出来、焊接到透射电镜栅网上，最后继续用聚焦离子束将其减薄至仅厚50nm或更低，才能使用透射电镜对其进行高分辨表征。
服务信息
服务内容 :
1.利用二次电子及背散射电子成像进行样品形貌观察。2.实现大范围切割到纳米精度加工，例如TEM样品制备及微纳图形加工。3.EDS能谱分析元素。4.三维重构功能
收费标准 :
校内：
1.FIB/SEM测试：700元/小时
2.EDS: 50元/点 Mapping 100元/面
3.光盘：5元/张
校外：
1.FIB/SEM测试：1200元/小时
2.EDS: 100元/点 Mapping 100元/面
3.光盘：5元/张
用户须知 :
按照《南开大学大型仪器设备管理办法》执行。样品须提前处理好，确保样品无水、无挥发性(液体样品需提前一天干燥），确保样品干净、无磁性。固体、块体长宽最好小于10mm，高度小于5mm。导电性较差的需要提前进行喷金处理。提交预约送样申请需填写“南开大学应化所双束电镜送样登记表”并提交附件。
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何雨桐
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