仪器信息
规格型号 :
P180
设备原值 :
309.11（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
物理学,材料科学
技术指标 :
1.主腔体压力小于5*10-7Torr；
2.辐射式加热器温度可以到达1000℃，基底支架可以最大放置2英寸基底，并可以360°旋转；
3.可以同时放置6个1英寸靶托，软件控制靶的自转、公转和摆动；
4.通过MFC控制工艺气体（氧气）压力。
主要功能 :
该系统可以通过脉冲激光快速蒸发含有复杂组分的靶材，在不同材质的衬底形成与靶材成分相同的薄膜；可以原位通入氧气；通过连续沉积可以制备多层膜或异质结；高压RHEED可以在分子层控制薄膜的生长。
服务信息
服务内容 :
利用脉冲激光沉积薄膜样品
收费标准 :
罗锋、宁帅课题组免费使用。材料科学与工程学院内课题组自测收费200元/小时，代测收费250元/小时。南开大学校内课题组自测收费400元/小时，代测收费500元/小时。南开大学校外课题组/用户不接受自测，代测收费600元/小时。
用户须知 :
用户与管理员联系，参加培训，获取上机操作的资格。送样代测的样品与管理员联系，确定测试方案和机时。
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孟杪
13933627690
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