技术指标 :
1.1可进行无机盐类物性检测试验,不需要冷却循环水,桌面操作,需具备二次电子、背散射电子检测器;
1.2开机时间不大于3分钟,具备低真空观察模式,具备标准模式及减轻放电模式;
1.3可数字连续放大,放大倍率不小于30000;
1.4加速电压达到15KV;
1.5样品台移动范围达到X向:±17.5mm、Y向:±17.5mm;
1.6最大样品尺寸直径可达到70mm;
1.7最大样品厚度达到50mm;
1.8位移范围达到±50μm;
1.9图像数据需保存于PC附属硬盘;
1.10涡轮分子泵流量不少于30L/S;
1.11隔膜泵流量达到1m3/h;
1.12具备能谱接口,可扩展功能。