仪器信息
规格型号 :
Base300
设备原值 :
80（万元）
产地国别 :
英国
学科领域 :
材料科学,信息科学与系统科学
技术指标 :
1.设备本底真空度：优于9×10-7 Torr。
1.抽气速度：30min之内腔体从大气环境抽气至真空度优于5×10-6Torr(氮气破真空的条件下)。
3.样品台：样品台尺寸4英寸可向下兼容，旋转速度0-20 rpm。
4.沉积源：电子束蒸发源，4坩埚，每个坩埚容量1cc，可以无坩埚直接蒸发棒状材料。
主要功能 :
无
服务信息
服务内容 :
制备金属薄膜
收费标准 :
无
用户须知 :
无
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胡凯
15822600365
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