仪器信息
规格型号 :
Raith-e-LINE plus
设备原值 :
704（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
材料科学,信息科学与系统科学
技术指标 :
最小直径的电子束束斑（< 1.6nm），最小加工线宽可达100 nm。
主要功能 :
eLINE Plus是一款高性能电子束曝光（EBL）系统，主要用微纳电子器件图形曝光，它能同时应用多种纳米加工技术，使用包括高精度激光干涉样品台、高速高精度图形发生器、图形识别自动套刻等先进的电子束曝光技术，能够满足超高分辨率和大面积图形的微纳加工要求，可用于亚微米图像的电子束直写，可用于4inch以下样品的图形曝光。
服务信息
服务内容 :
eLINE Plus是一款高性能电子束曝光（EBL）系统，主要用微纳电子器件图形曝光，它能同时应用多种纳米加工技术，使用包括高精度激光干涉样品台、高速高精度图形发生器、图形识别自动套刻等先进的电子束曝光技术，能够满足超高分辨率和大面积图形的微纳加工要求，可用于亚微米图像的电子束直写，可用于4inch以下样品的图形曝光。
收费标准 :
无
用户须知 :
无
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张楷亮
13672192752
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