仪器信息
规格型号 :
TUS-600B
设备原值 :
33.2（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
工程与技术科学基础学科,自然科学相关工程与技术
技术指标 :
采用立式、圆柱形、侧开门结构。尺寸约为φ600×H600mm，优质不锈钢材料。顶部为行星旋转基片台及其驱动系统；底部预留安装1台霍尔离子源及1对电阻加热蒸发电极位置及多个标准接口，安装靶档板及工作气体入口，底板中心布置柱状管状加热丝；其可拆卸安装法兰与蒸发电极安装法兰共用；侧部安装两只300×80mm矩形磁控靶，预留四只Φ60多弧靶靶位，其安装位置与两只矩形磁控靶的安装位置共用。
主要功能 :
功能包括：非磁性材料磁控溅射镀膜；预留有磁性材料磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜、霍尔离子源辅助镀膜和电阻加热蒸发镀膜，其它功能还包括：行星旋转基片台，基片台中心加热。
服务信息
服务内容 :
功能包括：非磁性材料磁控溅射镀膜；预留有磁性材料磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜、霍尔离子源辅助镀膜和电阻加热蒸发镀膜，其它功能还包括：行星旋转基片台，基片台中心加热。
收费标准 :
项目委托
用户须知 :
仪器设备共享服务平台管理办法（暂行）
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徐国荣
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