仪器信息
规格型号 :
DektakXT
设备原值 :
28.05（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
探针尖半径：2.0 µm；
探针压力：1-15mg；
扫描最大长度：55 mm；
最大样品厚度：50mm；
垂直方向扫描范围：1mm；
垂直方向分辨率：0.1nm（在6.55um测量范围内）；
台阶高度重复性：0.4 nm，1σ在1um标准台阶上；
主要功能 :
可测量旋涂光刻胶及各种薄膜的表面粗糙度
可测量沟槽特征结构的轮廓、台阶高度及宽度
服务信息
服务内容 :
测量光刻胶、薄膜表面粗糙度、沟槽特征结构的轮廓、台阶高度及宽度等
收费标准 :
校内用户：180元/小时
校外用户：300元/小时
用户须知 :
1.取放台阶仪样品时都要贴着样品台。
⒉保证被测样品表面千净没有灰尘颗粒以防弄脏针尖。
3.样品台阶不超过要求，不可太粗糟，平面度要在仪器量程内。4.在测试和启动软件的时候，请确认台阶仪上的门是关着的。
5.在进行测试的时候请勿触摸防震桌或者奔跑等，避免引起较大噪声和震动的活动以免影响测试结果甚至损坏探针。
6.测完数据后及时拷走以防系统崩溃而丢失数据。测完后请关闭总电源
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张紫辉
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