技术指标 :
1. 离子枪:两只潘宁式离子枪,装载微小磁铁,聚焦离子束设计
2. 离子枪角度:0°到18°,每只离子枪可独立调节
3. 离子枪束能量:0.1keV~8keV,具有卓越的低能量枪功能
4. 抛光速率:硅,每小时90μm
5. 样品台:Sample Blade, 可重复使用,配合Sample Stub可直接转至SEM中观察
6. 无油真空系统:无油机械泵+分子泵系统
7. 持续冷却的液氮冷台: 采用液氮冷却方式,和样品直接接触,可持续冷却6-8个小时,冷却温度最低-120℃左右,适用于各种温度敏感性材料