仪器信息
规格型号 :
RF350
设备原值 :
180.0（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
1、 刻蚀材料：二氧化硅(2000~10000埃)2、 刻蚀厚度：0~1000埃3、 高低功率程序4、低功率参数如下：1）刻蚀容差 ±1.0% 目标值; 2）片内刻蚀厚度均匀性
主要功能 :
微机电器件制备与研究
服务信息
服务内容 :
MEMS器件制造
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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庞慰
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