规格型号 :

GeminiSEM 300

设备原值 :

294.79（万元）

产地国别 :

德国

学科领域 :

化学

技术指标 :

1. 电子光学系统；1.1 电子枪：Schottky热场发射灯丝，自动聚焦，有倾斜校正功能；1.2 电子枪基本参数：二次电子分辨率≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV（无样品台减速模式下的标准模式）；标准模式下加速电压和着陆电压均可调范围均≥20V~30kV，加速电压以10V为步进连续可调

主要功能 :

电子束曝光机是微纳结构制作中最为重要的仪器之一，设备的高精度(0.5nm)可以实现单分子尺度的器件制备，利于进一步缩小器件尺寸，以便于单分子器件的集成化。同时，该设备操作简单，灵敏可实现精细电极的阵列化，提高实验效率。发展单分子电子器件的可控精准构筑新方法，发展具有超高时空分辨率的单分子行为检测和成像研究的关键技术，提升研究物质在单分子尺度上的新奇物理化学现象及其调控规律的能力，精准描绘物质转换和生命活动中单个事件的时空过程，为揭示单分子光电转化规律、化学反应的内在机理和生命本征现象提供划时代的研究手段和谱学方法，为器件微小化发展芯片集成核心技术，为医学和生命科学提供精准分子诊断技术。

服务内容 :

电子束光刻机可提供多样化专业服务：样品测试与加工，支持亚微米至纳米级图形的定制与直写。分析检测，可对掩模版、纳米结构进行高分辨率形貌与缺陷表征。工艺开发与优化，提供曝光参数、胶工艺等全套解决方案。技术咨询与培训，涵盖设备操作、版图设计、工艺整合等支持。此外，还可承接联合研发与小批量试制，为科研与产业界提供精确、可靠的微纳制造与认证服务。

收费标准 :

具体收费请与仪器负责人联系

用户须知 :

根据《南开大学大型仪器设备管理办法》，电子束曝光机用户须知如下：用户申请条件：本校师生及合作单位人员，需通过安全培训并具备相关实验基础。不适用开放共享原因：该设备操作专业性强，需专职技术人员操作维护，且运行环境要求高，暂不面向不具备操作能力的用户自主操作开放。