仪器信息
规格型号 :
Mo Chamber
设备原值 :
229.98（万元）
产地国别 :
英国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
1.*沉积速率：>200nm/min;2.*电阻系数：<10 u ohm cm;3.*同一硅片上的厚度不均匀性：<=1.5% (1Sigma);4.*硅片间的厚不均匀性：<=1.2% (1Sigma)
主要功能 :
微机电器件制备与研究
服务信息
服务内容 :
MEMS器件制造
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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庞慰
27400876
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