规格型号 :

Merlin Compact

设备原值 :

288（万元）

产地国别 :

德国

学科领域 :

物理学,化学,生物学,材料科学

技术指标 :

加速电压为0.02~30kV；探针电流5pA~20nA；分辨率：0.8nm at 30kV (扫描透射模式)，0.8nm at 15kV，1.6nm at 1 kV

主要功能 :

具有极高的分辨率，由AsB（角度选择背散射电子探测器）、SE（样品室二次电子探测器）和In-lens DUO（镜筒内安装的二次电子探测器+背散射电子探测器）组成的检测系统可以全方位的接受信号，并进行高分辨率表面观察、大景深形貌以及元素分辨等多种成像。凭借特有的Inlens Duo探头可以使样品非常贴近极靴以获得极高分辨率的图像质量，或者对易损伤的样品进行极低电压的扫描成像。同时还配有STEM（扫描透射探头）可以对核壳结构进行透射观察，以及EBIC（电子束感生电流）接口可以进行电子元器件的检测（PN结的定位和损伤检测）。

服务内容 :

高分辨率表面形貌观察，X射线能谱元素分析，电子束曝光刻蚀

收费标准 :

学院内用户每小时150元，校内其他用户每小时300元，校外用户每小时500元

用户须知 :

1.使用预约的最少预约时长为半小时。请根据自己的样品数量预约合适的时长，预约生效后系统将自动扣费。2.测样时段内，仅允许1位非操作用户在旁观测， 严格遵守实验室秩序，不得在测试区以外活动。3.样品必须是干燥无水，无挥发性气体，无磁性，在电子束照射下不会发生变化，否则不可进行测试。特别是用有机溶剂（乙醇，丙酮之类）处理过的样品，必须确保样品完全烘干，不含有机溶剂。如果由于样品不合格导致测试时出现问题，将会被取消课题组预约资格一个月。4.本实验室可以对样品进行溅射喷金处理，每次可放置六个样品台。