仪器信息
规格型号 :
6EC-nSpire
设备原值 :
31（万元）
产地国别 :
学科领域 :
技术指标 :
主要功能 :
主要功能及应用： 1能够获得4-/6-/8-inch 晶圆的全局平坦化； 2能平坦化不同的材料，如层间电介质(ILD)、浅沟槽隔离(STI)、绝缘体、导体、镶嵌金属(W、AI、Cu、Au)、多晶硅等； 3实现在同一次抛光过程中对多层材料进行平坦化； 4可采用大士革工艺制作金属图形，使得不需要对难以刻蚀的金属或合金等进行等离子体刻蚀，为互连器件的制作提供保证。
服务信息
服务内容 :
收费标准 :
500.00
用户须知 :
无
联系我们
郝银召
更多推荐
