仪器信息
规格型号 :
MJB4
设备原值 :
105（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
信息科学与系统科学
技术指标 :
（1）曝光波长：350-450nm（2） 曝光灯功率：350W（3） 分辨率：优于0.8？m（光刻胶厚度1微米时）（4） 套刻精度：优于0.5？m（5） 曝光光强： 大于40mW/
主要功能 :
在光刻胶上曝光处所需的pattern
服务信息
服务内容 :
样品测试
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日部分时间对外开放共享
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韩家广
13820728661
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