仪器信息
规格型号 :
HIM80
设备原值 :
397.0（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
物理学
技术指标 :
极限压力：8×10-4 Pa
高能 MEVVA 系统：2 套，电压 0-80 kV，束流 3-10 mA
低能 MEVVA 系统：1 套，电压 0-15 kV，束流 1-15 mA
高能考夫曼源：引出栅口径：Φ100 mm；引出电压：10 kV～100 kV 连续可调； 离子束流：1～8 mA； 离子束斑直径≥Φ100 mm； 工作真空度：优于 1×10-2 Pa；灯丝尺寸：Φ0.4
主要功能 :
多通道多元高能离子注入装备是一种先进材料表面改性新型设备。主要配备了高能气体离子束源、高能MEVVA金属离子束源、低能MEVVA金属离子束源。具有非金属离子注入、金属离子注入、多离子共注入等复合等功能。可实现离子注入表面改性、金属表面合金化和制备各种功能膜等多种工艺。已广泛应用于航空航天、生物医学、半导体、机械等领域的精密部件的表面改性处理，显著改善材料表面的耐磨、耐蚀、抗疲劳、降低摩擦系数、能带结构、电子结构或生物学等性能，起到表面强化作用，获得优异的表面性能。
服务信息
服务内容 :
多通道多元高能离子注入装备是一种先进材料表面改性新型设备。主要配备了高能气体离子束源、高能MEVVA金属离子束源、低能MEVVA金属离子束源。具有非金属离子注入、金属离子注入、多离子共注入等复合等功能。可实现离子注入表面改性、金属表面合金化和制备各种功能膜等多种工艺。已广泛应用于航空航天、生物医学、半导体、机械等领域的精密部件的表面改性处理，显著改善材料表面的耐磨、耐蚀、抗疲劳、降低摩擦系数、能带结构、电子结构或生物学等性能，起到表面强化作用，获得优异的表面性能。
收费标准 :
300元/小时
用户须知 :
不要忘记设备中存在高压。设备工作时注意与设备保持一定的
距离以防止高压电击。在设备工作期间和取出工件的时候一定要确
保自己的安全。
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侯兴刚
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