技术指标 :
电源:100V(±10%),50Hz,4kVA;
3.1.2工作环境温度:18~25度;
3.1.3工作环境湿度:30%~60%;
3.1.4运行持久性:连续使用;
3.1.5安装条件:地线接地电阻不小于100欧姆;
3.1.6冷却水:流量1.8-2.2 L/min,压力0.05 to 0.15 MPa,温度15至20 C。
分辨率:0.2nm;
加速电压:20-120KV;
观察模式:高分辨和高反差模式;
放大倍数:高反差模式:X200~X200,000;高分辨模式:X4,000~X600,000;低倍模式:X50~X1,000;
图像旋转:最大范围X1,000~X40,000,旋转角度:±90度(15度/步);
衍射长度:高反差方式 0.2~5.0m(9步);高分辨方式 0.2~2.0m(7步);
束斑尺寸:高反差方式 0.6~2.0um(5步);高分辨方式 0.6~1.0um(5步);
电子枪:LaB6灯丝,具有电流自动控制,灯丝计时,气压式自动升枪等功能;
使用高速、高灵敏的COMS荧光屏相机取代了传统的荧光屏,将TEM操作统一于显示器上。像素:1024×1024,帧率16