仪器信息
规格型号 :
ICP-98C
设备原值 :
60.0（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
电子与通信技术,材料科学
技术指标 :
最小线宽1um；均匀性优于4%
主要功能 :
中科院沈阳科学仪器股份有限公司
有限公司
服务信息
服务内容 :
用于元素半导体、氧化物介质、Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体等多种电子功能材料的精细刻蚀加工
收费标准 :
800元/小时
用户须知 :
无
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王伟
13820026905
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