技术指标 :
射线源类型:水冷Ag靶射线源(与单色化Al共处一个靶面上),可更换至少8个Al新鲜靶点和至少4个Ag新鲜靶点,软件驱动更换新靶点;
最大功率:不小于500W,加速电压不低于15Kv
Al单色指标最佳能量分辨和灵敏度:0.45Ev@160kcps
荷电中和器类型:全自动单电子源同轴荷电中和器
最佳能量分辨率和灵敏度(PET): 0.68eV(O-C=O 的C 1s)@35kcps(C-C的C 1s)
检测器:多通道板(MCP)和双层128物理通道的二维阵列延迟线检测器2)(DLD)
采谱模式宽/窄扫描谱:顺序能量扫描;
快照采谱:非扫描模式的数秒即得;从图得谱:利用一系列顺序能量的光电子平行图像,在某一像素点上重构该点光电子能谱,空间分辨优于1μm(200×200μm2视场);
快速平行成像空间分辨:优于1µm(锐利刀口样品,信号强度80~20%的线宽度);
视场大小:800×800/400×400/200×200μm2;
像素:最大256×256;扫描成像;
束斑大小:可选15µm或27µm;
真空泵:400升/秒涡轮分子泵;
真空度:烘烤后优于7×10-7Pa
深度剖析离子枪单离子模