仪器信息
规格型号 :
SPLD-14
设备原值 :
29.8（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
物理学
技术指标 :
1.搭配相干COMPex201脉冲激光器，波长248nm，脉冲能量750mJ，重复频率10Hz。
2. 背底真空优于10-6 mbar（未烘烤），经过>48小时烘烤，背底真空度优于9X10-8mbar。
3. 手动Z向位移台，行程100mm。
4. 直流电源供电，最高加热温度950°C。
主要功能 :
激光脉冲沉积是一种用途广泛的薄膜沉积技术，通过建立获得最佳薄膜质量的临界参数，适合于沉积复杂氧化物、氮化物、硫化物等功能薄膜
服务信息
服务内容 :
光学领域分析测试
收费标准 :
请与仪器负责人联系
用户须知 :
按照《南开大学大型仪器设备管理办法》执行
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张杨
15830561756
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