技术指标 :
1、SE探头分辨率:3.0nm @ 30KV,WD=5mm; 7.0nm @ 3KV;15.0nm @ 1KV
2、BSE探头分辨率:4.0nm @ 30KV,WD=5mm,6Pa
3、放大倍数: 5-300,000x(底片倍率),7-800,000x(显示倍率)
4 电子光学系统
4.1 电子枪:预对中灯丝
*4.2 电子枪偏压:全比例自动偏压,IFT灯丝状态监控(实时调整灯丝状态,显示灯丝剩余寿命状态)
4.3 加速电压:0.3-30kV
4.4 物镜光阑:4孔可变物镜光阑(20,40,80,150μm)