仪器信息
规格型号 :
PECVD-400A
设备原值 :
71.5（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
电子与通信技术,材料科学
技术指标 :
真空度1～1000Pa，成膜面积Φ100mm
主要功能 :
工作真空度1～1000Pa，最大成膜面积Φ100mm
服务信息
服务内容 :
通过射频PECVD低温沉积碳基微电子、光电子功能材料
收费标准 :
800元/小时
用户须知 :
无
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王伟
13820026905
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