仪器信息
规格型号 :
Dektak XT
设备原值 :
38.99（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
量测范围:为0.1nm至1mm,分辨为0.1nm,测量重复性可以精确到0.5nm以内;测量精度:若台阶高度小于或等于100nm,指标为+/-2nm,若台阶高度大于100nm,指标为+/-1%
主要功能 :
台阶仪通过探测纳米探针在被测样品表面滑动时高低起伏的运动情况，实现对表面粗糙度的定量测量，通过扫描纳米薄膜与基体之间的高度差可以实现对膜厚的测量。利用多次扫描还可以获得表面三维形貌图像。另外还可以定量测量薄膜曲率，刻蚀深度等信息。
服务信息
服务内容 :
可测量样品粗糙度、波纹度和厚度。可测量各种材料，包括：磁盘、半导体晶圆、精密加工和抛光面、微电子陶瓷、平面显示器玻璃、光学表面
收费标准 :
参照学校大仪使用收费标准
用户须知 :
1.在测试和启动软件的时候，请确认台阶仪测试室门是关着的；2 放置样品时保证镀膜面朝上；3 调节样品台时动作一定要轻，以免损坏针头。调整过程中要防止人为移动样品而损坏针头；4 在进行测试的时候请勿触摸仪器桌或者奔跑、剧烈的走动等，避免进行一些引起较大噪声和震动的活动以免影响测试结果甚至损坏探针；5 放样品前请确认探针升起；6 取放样品时都要贴着样品台；7 保证被测样品表面干净没有灰尘颗粒以防弄脏针尖；
联系我们
赵李宏
18622270355
更多推荐
