技术指标 :
1、电镜参数
1.1台式设计,放置在桌面操作;
1.2 分辨率:≥10nm;
1.3最小倍率≤10,最大倍率≥100,000 (非数字放大);可以满足绝大部分样品的亚微米观测
*1.4标配SE、BSE、SE/BSE混合三种成像模式,且具有多种低真空观察模式(导体模式<10Pa、标准模式30Pa、减轻荷电模式50Pa),空气浓度可调。不同空气浓度的工作模式,可以适应各种样品的观测,可以直接观测容易荷电的样品、含水样品,并且无需前处理
*1.5电子束能量强度可调,具有15KV、10KV、5KV和分析模式四种模式;
根据样品对电子束耐轰击情况,可以选择不同的电压和束流强度,达到最优结果。5kV 适合观察样品表面形状,10KV适合常规样品观察,15kV适合高倍率观察和元素成分分析
*1.6样品仓:样品移动范围: 40mm * 35mm;最大样品尺寸:≥80mm(直径);
最大样品厚度:≥50mm;大的样品仓和移动范围,可以适用各种大尺寸样品和不宜切割的样品。,并且可一次性处理多个样品
2、能谱仪参数
2.1探头类型:硅漂移SDD电制冷型,无需液氮冷却;
2.2探测器元件面积:10mm2;