技术指标 :
技术指标:1.微区白光反射成像,横向空间分辨率优于 400 nm。2.光谱探测系统,光谱可重复性 优于 0.05 cm-1,共聚焦灵敏度硅的三阶拉曼峰信噪比:≥25:1。3.拉曼成像分辨率,横向空间分辨率 优于 400 nm @532 nm,纵向空间分辨率 优于 900 nm @532 nm。测试方法:以二维材料石墨烯为样品, 以 100 nm 为步长,包含石墨烯边缘做白光反射光谱成像。获得白光反射信号沿垂直于 石墨烯边缘方向的强度分布曲线(呈台阶状),其台阶高度的 10%-90%对应点的距离差为横向空间分辨率。结果表明白光反射光谱的横向空间分辨率为 400 nm,结果满足指标。其余指标均通过验收。