规格型号 :

SIGMA 500

设备原值 :

298.97（万元）

产地国别 :

德国

学科领域 :

自然科学相关工程与技术,材料科学,工程与技术科学基础学科

技术指标 :

20nA电流；35KV电压；200mm实验台

主要功能 :

可以进行8英寸以下固体样品的观察。可以获得微观形貌像、原子序数像、成份的分析和点、线、面分布。

服务内容 :

该设备主要用于8英寸晶圆表面缺陷检测，化学机械抛光后晶圆表面质量评估（缺陷、划痕和颗粒），掺杂半导体成像，芯片内部三维结构表征，芯片内部关键线宽和孔径的测量，纳米材料的高分辨成像，半导体器件失效分析，以及其他样品的微观形貌、颗粒尺寸、晶界结构和组成等的检测。特殊的复合式物镜结构保证了该设备可以对含磁性颗粒的样品进行成像研究，拓宽了应用范围。

收费标准 :

校内200元/小时；校外400元/小时

用户须知 :

扫描电镜是一种非常精密的仪器，需要谨慎地操作以保持其稳定性和长期性能。 1、待测样品需要保持干燥，热稳定性要好，且不会被电子束分解。 2、对于含水的生物样品，需要经过化学或物理方法固定、脱水和干燥后再进行观察。 3、样品在制备、拿取和保存过程中，佩戴干净无粉手套，使用的剪刀等制样工具亦要保持干净。 4、导电性不好的样品必须蒸镀导电层。 5、遵循操作顺序：在使用扫描电镜时，应该按照正确的操作顺序进行操作。这通常包括先开启电子枪，然后调整对焦、亮度和对比度等参数，最后将样品放置在样品台上。 6、定期校准和维护，以确保其成像质量和性能稳定。在进行校准和维护时，应该遵循制造商提供的说明书和建议。