仪器信息
规格型号 :
Spector
设备原值 :
912.6（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
材料科学
技术指标 :
"1）极限真空度：1×10-7Torr；
2）真空室尺寸：Ф1067mm×914mm
3）离子源系统：16cm和12cm双射频离子源
4）靶架系统：三靶旋转系统。"
主要功能 :
主要用于低损耗激光薄膜、高功率激光薄膜、激光滤光膜的制备。
服务信息
服务内容 :
氧化物薄膜的制备。
收费标准 :
1500元/小时
用户须知 :
主要用于低损耗激光薄膜、高功率激光薄膜、激光滤光膜的制备。
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孙越宇
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