仪器信息
规格型号 :
Apreo S LoVac
设备原值 :
255（万元）
产地国别 :
捷克
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
高/低真空分辨力：0.8nm/1.2nm@15kV；束流1pA~300nA，稳定性<0.4%；配备EDS、五自由度样品台，移动范围110mm*110mm*60mm，精度3um，样品直径120
主要功能 :
微观形貌观察、成分检测、电子束曝光
服务信息
服务内容 :
样品测试
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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吴森
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