仪器信息
规格型号 :
DZS-500
设备原值 :
40.8（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
电子与通信技术,材料科学
技术指标 :
极限真空6.5×10-5 Pa
主要功能 :
电子束蒸镀成膜方式，可以在基片或晶圆旋转、加热的条件实现各类功能材料的薄膜沉积，成膜面积Φ100mm
服务信息
服务内容 :
制备各类高质量导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等
收费标准 :
400元/小时
用户须知 :
无
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王伟
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