仪器信息
规格型号 :
S1500
设备原值 :
257.57（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
1 用于光学芯片器件的加工，该设备可以刻蚀硅、氧化硅、氮化硅、金、铬、镍等多种材料，是将掩膜结构转移至芯片结构层的必须设备； 2 工艺气路需涵盖氟基气体和氯基气体等多种气路，以满足多材料体系的刻蚀。
主要功能 :
用于刻蚀氮化硅、非晶硅、氧化硅等薄膜材料
服务信息
服务内容 :
用于刻蚀氮化硅、非晶硅、氧化硅等薄膜材料
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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徐训岭
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