仪器信息
规格型号 :
GT-X
设备原值 :
184.0（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
工程与技术科学基础学科
技术指标 :
主要指标如下: 1. 电动样品台：移动范围：200mm (XY 轴)，移动精度≤0.5um；
2. 镜头倾斜调整：电动调节±6°；
3. 垂直测量范围：0.1nm至10mm，全量程闭环控制扫描；
4. 垂直分辨率：≤0.01nm
5. 粗糙度重复性RMS：≤0.004nm
6. 垂直扫描速度：最高≥110µm/秒
主要功能 :
精密表面分析
服务信息
服务内容 :
精密表面粗糙度测量；精密表面台阶测量；精密表面变形测量
收费标准 :
无
用户须知 :
z向分辨率0.1nm.
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张涛
13516216172
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