仪器信息
规格型号 :
Quantum X align
设备原值 :
689.0（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
型号：QuantumXalign三维对准精度:100nm(xy)/500nm(z)可加工加工表面粗糙度Ra≤10nm形状精度Sa≤200nm(ISO25178)细节尺度:100nm可实现的耦合损耗≤1
主要功能 :
双光子灰度光刻
服务信息
服务内容 :
双光子灰度光刻
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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蒲治华
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