仪器信息
规格型号 :
NV9K
设备原值 :
131（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
物理学
技术指标 :
垂直扫描范围 150um压电陶瓷驱动，20mm扩展扫描
重复性 ＜0.1nm
RMS重复性 0.01nm
横向分辨
空间采样 0.30um(100X物镜)
0.04um(100x物镜，2倍zoom)
扫描速度 最大96um/s
台阶测量
线性度 重复性≤0.1%
小于20nm或者0.1%
主要功能 :
三维表面形貌测试系统主要用于自动测量样品的二维、三维表面形貌、表面粗糙度、关键尺寸（包括高度、孔洞深度、长度等）、关键部位的面积和体积等所有的ISO表面参数。样品粗糙度测量。
服务信息
服务内容 :
1、可测试样品类型需对白光照射不敏感；2、可对大面积样品实现拼接测量，测量范围小于20mm；3、空间采样率范围不低于0.04微米情况下完成3D轮廓表征
收费标准 :
校外单位：800元/样品；校内单位：400元/样品
用户须知 :
按照《南开大学大型仪器设备管理办法》执行。
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刘洪亮
13512908357
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