仪器信息
规格型号 :
SIGMA 500
设备原值 :
284（万元）
产地国别 :
英国
学科领域 :
物理学,材料科学
技术指标 :
分辨率：≤0.8nm@15kV，1.6nm@1kV；放大倍率：20-1,000,000倍；加速电压：20V – 30kV；最大电子束位移量不小于30um，电子束曝光分辨率小于50nm
主要功能 :
场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，通过与电子束曝光系统联用可以实现在样品表面进行电子束直写微纳米复杂图形，实现微纳米器件的加工和制备。
服务信息
服务内容 :
主要用于对样品的表面形貌的成像，电子束曝光制作纳米结构。
收费标准 :
部门内170元/小时，校内340元/小时，校外680元/小时
用户须知 :
使用前需提前培训
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