规格型号 :

200MOD

设备原值 :

98（万元）

产地国别 :

中国

学科领域 :

化学

技术指标 :

1. 手套箱系统包括两个手套箱，2套气体净化系统。系统右侧箱体为含3个手套的单工位操作手套箱，左侧为双工位操作手套箱，两节箱体中间通过大小共2个T型过渡舱连接。每个手套箱均具有独立的水氧循环控制系统，水、氧控制在＜1ppm； 2. 单工位操作手套箱（右侧）尺寸为：长1500mm，高900mm，底部宽780mm；箱体泄漏率：<0.05vol%/h； 3. 双工位操作手套箱（左侧）尺寸为：长1800mm，高900mm，底部宽780mm；太阳光模拟器对接口，内径100mm，法兰固定，带有高透光光学玻璃片； 4. 高真空蒸镀系统集成于左侧双工位操作手套箱内，基本系统包括：与手套箱集成的蒸镀腔室、真空系统、蒸发源设计和安装、蒸镀系统控制器、样品台、PLC控制系统；配有2个金属蒸发源，均为双源结构，每个蒸发源带有2个电源（变压器和控制器），水冷高电压接头；最多可实现4个源的共蒸；真空获得系统由旋片泵（抽速为12m3/h）高真空涡轮分子泵（抽速不小于1000L/s）组成，蒸发腔极限真空度<9x10-7mbar； 5. 样品台可旋转，可升降，旋转速度可调范围：0-33 RPM，最大可装载130mm

主要功能 :

手套箱蒸镀系统可实现在惰性气体保护下，在高真空条件中进行金属或有机薄膜的沉积。真空蒸镀沉积的金属和有机薄膜在有机光伏器件、有机场效应晶体管和有机发光器件等领域有着广泛的应用。手套箱蒸镀系统用于蒸镀各种金属电极、低熔点氧化物等，可完成纳米级到微米级的薄膜制备。可应用于材料、化学、物理、光电等专业，制备薄膜电池、OLED技术/有机发光材料、半导体等。

服务内容 :

制作太阳能电池器件

收费标准 :

请与仪器负责人联系。

用户须知 :

按照《南开大学大型仪器设备管理办法》执行。