规格型号 :

Helios nanolab 460HP

设备原值 :

628.99（万元）

产地国别 :

美国

学科领域 :

材料科学,化学,能源科学技术

技术指标 :

在最佳工作距离的分辨率：≤0.6 nm @ 2 kV（二次电子成像分辨率）、≤0.7 nm @ 1 kV（二次电子成像分辨率）；在双束交叉点的分辨率：≤0.6 nm @ 15 kV（二次电子成像分辨率）、≤0.9 nm @ 5 kV（二次电子成像分辨率）、≤1.2 nm @ 1 kV（二次电子成像分辨率）； 电子束着陆电压：20 V ～ 30 kV； 离子束加速电压：500 V ～ 30 kV； 离子束束流强度：0.1 pA ～ 65 nA； 离子束分辨率：2.5 nm @ 30 kV（使用单边测量法）≤4.0 nm @ 30 kV（利用统计测量法）； 沉积及刻蚀辅助材料：Pt、C、TEOS、W、XeF2； 配备有纳米机械手； 配备有防样品被空气氧化的传输装置 。

主要功能 :

二次电子、背散射电子以及镓离子成像； 三维重构和数据分析； TEM样品的制备； 半导体元器件、集成电路的修补和失效分析； EDS能谱分析（点、线、面）。

服务内容 :

二次电子、背散射电子以及镓离子成像； 三维重构和数据分析； TEM样品的制备； 半导体元器件、集成电路的修补和失效分析； EDS能谱分析（点、线、面）。

收费标准 :

校内：1000元/小时，校外：1800元/小时

用户须知 :

专业教师操作