仪器信息
规格型号 :
NanoSEM450
设备原值 :
334.33（万元）
产地国别 :
捷克
学科领域 :
电子与通信技术,物理学
技术指标 :
分辨率1.4nm
主要功能 :
可以通过二次电子成像实现高精度表面形貌分析，1KV加速电压下的分辨率达到1.4nm
服务信息
服务内容 :
对微电子、光电子薄膜及微纳器件结构进行加工与分析表征
收费标准 :
400元/小时
用户须知 :
无
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耿翀, 李珣
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