仪器信息
规格型号 :
MJB4
设备原值 :
129.95（万元）
产地国别 :
德国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
①样品最大尺寸不超过4英寸晶圆（外接圆直径10 cm）。②365 nm i线紫外激光光刻，极限光刻线条精度约2 μm水平。
主要功能 :
356nm紫外光刻
服务信息
服务内容 :
356nm紫外光刻
收费标准 :
根据是否自备光刻机、显影液，50-350元/小时
用户须知 :
需用户掌握操作技术，自行操作
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王程
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