仪器信息
规格型号 :
Acpsitec E460E
设备原值 :
252.81（万元）
产地国别 :
法国
学科领域 :
自然科学相关工程与技术,材料科学,工程与技术科学基础学科
技术指标 :
300mm 200mm/min <4%
主要功能 :
用于一定尺寸、一定厚度的金属靶材、半导体晶体、光学晶体材料、镀膜材料等表面的平坦化，通过化学机械抛光的方法在去除一定厚度的基础上，实现表面纳米级或亚纳米级精度。
服务信息
服务内容 :
针对不同尺寸不同材料进行化学机械抛光，达到指标要求的平坦化参数。
收费标准 :
每个样品50元。
用户须知 :
（1）设备的操作流程；（2）抛前检查设备的状态、清洁机台；（3）用后务必退液并清洗管道；（4）抛后清洁机台及周围环境。
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潘国峰, 王辰伟, 牛新环
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