仪器信息
规格型号 :
P：15kW，U：1000V，Σ：30A；GX150/1000
设备原值 :
51.98（万元）
产地国别 :
中国
学科领域 :
机械工程
技术指标 :
迁移率范围：1-106 cm²/Vs；电阻率范围：10⁻⁵-10⁵ Ohm·cm；电阻范围：0.5 mOhm-10 MOhm
主要功能 :
离子束加速和引出：霍尔离子源通过电磁场的作用，能够将气体分子电离成离子，并通过交叉电磁场形成霍尔环流，从而无需栅极即可实现离子的加速和引出。大面积均匀镀膜：高速霍尔离子源系统能够产生大面积且均匀分布的离子束，确保镀膜过程中的均匀性和一致性。预清洗和表面处理：在真空镀膜过程中，高速霍尔离子源系统可以用于基底离子轰击清洁，改善膜层的致密度和稳定性。
服务信息
服务内容 :
提升镀膜时粒子的离化率，提升镀膜质量。
收费标准 :
无
用户须知 :
无
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范其香
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