仪器信息
规格型号 :
Primaxx uEtch
设备原值 :
161.58（万元）
产地国别 :
美国
学科领域 :
电子与通信技术
技术指标 :
1.热氧化二氧化硅刻蚀速率大于0.2um/min，未退火TEOS二氧化硅可达1um/min；2.氧化硅刻蚀速率片内不均匀性＜5%，片与片之间的不均匀性＜5%；3.氧化硅对氮化硅选择比大于20：1（
主要功能 :
气态刻蚀二氧化硅
服务信息
服务内容 :
气态刻蚀二氧化硅
收费标准 :
电话沟通商议
用户须知 :
工作日
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庞慰
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